防靜電無塵手套和手指套是電子工業精密制程中需要防護人員的資材,對其性能指標的全面測試評估是非常有必要的。本文詳列了無塵室用防靜電手套手指套的測試指標及對應評測方法。對于電子行業從業者評估適合的防靜電手套手指套有一定的指導意義。
操作人員被視為無塵室內污染物發生源。人員發塵對于無塵環境的顆粒數達到80%。所以,無塵室內操作人員必須通過穿著無塵服、手套等來保證環境的潔凈度。手套作為直接接觸產品的物品,是整個防護系統中關鍵的部位,除了確保人員不會污染受控環境中關鍵生產工藝區域的潔凈度,還不能直接對產品造成二次污染。無塵室手套主要管控的微污染物有:顆粒、離子、硅油、防靜電指標等。從手套材質來分,主要有丁腈、乳膠和PVC材質(如圖1所示)。從尺寸上來劃分,主要分為9寸和12寸。根據不同的要求選擇不同的手套,無塵室級別越高,對所使用的手套的要求也越高。
同樣的,操作人員也是制程因素中靜電的高發源,靜電起電和靜電放電尤其容易發生在手部與產品的接觸分離過程中,控制人員手部與產品的摩擦起電狀況是有幫助的,這同樣需要對所使用防護手套的性能進行評測。
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